翠涛晶驰300m

载件工作台

光学系统

工作台行程 

10”x5”

摄影机

Soid Slae

精度

0.2mil

光学放大倍数

0.7倍-4.5倍

晶圆工作台

速度（固晶周期）

   250ms

XYTravel行程

6”×6”

精准度

0.2mil/5um

点胶量

可调0.25-0.45mm

晶片放置的精度

程式储存容量

沾片位置

±0.5mil

程式库数量

无限制

旋转精度

±3°

每程式最多1000个晶片/LED

晶片尺寸与晶圆

设备要求

晶片

最小5mil×5mil

电压

AC220V/50HZ

晶圆

4-6?环（拾晶范围4.7）

压缩空气

最少6BAR

固晶压力

20g-200g(programmable可调节

真空度

700mmHG(真空泵）

功 率

2000W

图像识别系统

体积及重量

方法

256灰度

重量

700Kg

检测器

墨点、破晶、裂晶

外型尺寸

1200×1050×1500mm

显示器

17?液晶

漏晶检测系统

真空传感器