在线真空等离子辉光放电活化清洗机

达因特SPA系列大气等离子清洗机,经济高效的真空等离子处理机分为直喷和旋转型,SPV等离子体处理机是真空腔体,台式\完全独立的,只需最小的工作台面积.

SPA系列是大气等离子清洗机，其中分为直喷和旋转型 ， SPV等离子体处理机是真空腔体，台式\完全独立的，需要最小的工作台面积。系统机箱容纳等离子体室，控制电子设备，13.56 MHz射频发生器和自动匹配网络。通过互锁的门或可拆卸的面板提供维护通路。等离子室最多支持7个可移动和可调节的动力或接地货架，以适应各种零件，零件和零件运输工具，包括杂志，托盘和船只。真空等离子体处理系统可以适应各种各样的工艺气体，包括氩气，氧气，氢气和氟化气体。两种型号都配有两（2）个电子质量流量控制器，用于气体控制，另外两个（2）可选（最多4个））。方便的设施连接，用于验证过程中使用的定期校准要求。

SPA等离子处理设备： 允许全面的前部访问，方便地访问所有内部组件。泵定位在辊子上，便于拆卸。等离子体室由11号不锈钢和铝制固定装置构成，具有出色的耐用性。该室具有多个可移动和可调节的货架，可容纳一系列零件承运人，包括机械手，托盘，晶片。具有可选高吞吐量货架的离子体处理系统，将等离子清洗机的可靠性和工艺质量与达因特独特的搁架设计的成熟优势相结合。等离子体中发现的反应离子，提高了处理均匀性，同时缩短了处理时间。系统允许从一系列工艺气体（如氩气，氢气）中进行选择。它配备了四个质量流量控制器，用于气体控制。开槽的杂志垂直放置在室内。此外，开槽的处理的材料可以垂直放置在室内。通常，每个槽至少保存20个引线框。SPV等离子室可容纳多个放置处理的槽，具体取决于处理材料的大小。

等离子体系统是一种有效的等离子体处理，具有用于批量处理的超大型室。它是一种经济高效的真空等离子处理机，用于处理各种零部件。它完全独立，需要最小的占地面积。泵，腔室，控制电子设备和13.56 MHz射频发生器都包含在其外壳内。AP-1500等离子处理设备还提供滑出式水平货架，便于装卸。其紧凑，服务友好的设计占地面积小，专为从系统前后的维护而设计。因此，多个真空等离子体处理系统可以并排放置，以最大化占地面积利用率。泵定位在辊子上，便于拆卸。控制系统可以在多个级别进行密码保护，以防止未经授权的配方修改。这确保系统从第一批到最后一次的性能一致。

达因特大气等离子清洗机设备提供了无与伦比的处理的均匀性和一致性的过程，等离子体系统在一个非常可配置的平台中提供卓越的等离子体处理质量和自动化功能，从而实现半导体和电子封装的高产量等离子体处理和等离子体清洗， 根据室内套件和电极配置，等离子体室能够进行诸如电介质蚀刻，光致抗蚀剂除去/灰分，氧化物去除，有机污染物清洁和表面活化等过程。