厂商 :深圳市森东宝科技有限公司
广东 深圳- 主营产品:
- 显微镜
- 探针座
- 探针夹具
产品介绍
CS系列探针台造型小巧,测量精度高,操作方便,符合人机工程学。主要应用于半导体行业以及光电行业的测试。广泛应用于复杂、高速器件的精密电气测量的研发。
4寸手动探针台
适合4英寸以内样品测试
体积小巧,可作为手套箱内探针台
产品参数
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是否有现货: | 是 | 品牌: | cindbest |
加工定制: | 是 | 测量范围: | 100FA-10A |
尺寸: | 400*400mm | 电池种类: | 没电池 |
测量精度: | 100fA | 电源电压: | 220V |
用途: | 半导体产品电学参数测试 | 型号: | CS系列 |
规格: | 4英寸标准探针台 | 商标: | cindbest |
包装: | 木箱 |
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技术参数
规格 |
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Chuck(可选) |
4" 或6" 不锈钢,真空吸附型,独立开关控制 |
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Chuck X-Y轴行程,精度 |
4" x4",10um |
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Chuck 旋转角度 |
0~360 度 |
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Chuck 旋转角度微调精度 |
0.01° |
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Chuck快速升降(选配) |
4mm |
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Chuck微调升降(选配) |
4mm ,1um精度 |
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Chuck 平整度 |
5um |
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针座平台 |
C型设计,可放置8个BT 型针座,可扩展为O型平台 |
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针座平台平整度 |
5 um |
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显微镜Z轴行程,精度 |
2",细调精度0.1um |
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需求 |
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电力 |
220 VAC, 60Hz |
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真空 |
-250 mmHg, 7 liter/min |
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尺寸 |
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320mm宽*320mm长*400mm高(带显微镜) |
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重 20 Kg(带显微镜) |
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可选附件 |
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激光切割 |
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加热台 |
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防震桌 |
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显微镜暗场 / DIC/Normarski 检测 |
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光强/波长测试接口部件 |
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射频测试探头和线缆 |
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有源探头 |
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低电流/电容测试 |
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高压测试 |
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CCD视频系统 |
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液晶漏电分析套装 |
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黑箱子 |
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镀金Chuck |
性能特点
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CS探针台能够胜任的测试有:
序号 |
根据测试样品分类 |
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序号 |
根据应用分类 |
1 |
晶圆测试 |
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1 |
射频测试 |
2 |
LED测试 |
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2 |
高温环境测试 |
3 |
功率器件测试 |
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3 |
低电流(100fA 级)测试 |
4 |
MEMS测试 |
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4 |
I-v/c-v/p-iv测试 |
5 |
PCB测试 |
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5 |
高压,大电流测试 |
6 |
液晶面板测试 |
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6 |
磁场环境测试 |
7 |
太阳能电池片测试 |
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7 |
辐射环境测试 |
8 |
材料表面电阻率测试 |
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9 |
积分球测试 |
使用说明
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将样品载入真空卡盘,开启真空阀门控制开关,使样品安全且牢固地吸附在卡盘上。
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使用卡盘X轴/Y轴控制旋钮移动卡盘平台,在显微镜低倍物镜聚焦下看清楚样品。
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使用卡盘X轴/Y轴控制旋钮移动卡盘平台将样品待测试点移动至显微镜下。
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显微镜切换为高倍率物镜,在大倍率下找到待测点,再微调显微镜聚焦和样品x-y,将影像调节清晰,带测点在显微镜视场中心。
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待测点位置确认好后,再调节探针座的位置,将探针装上后可眼观先将探针移到接近待测点的位置旁边,再使用探针座X-Y-Z三个微调旋钮,慢慢的将探针移至被测点,此时动作要小心且缓慢,以防动作过大误伤芯片,当探针针尖悬空于被测点上空时,可先用Y轴旋钮将探针退后少许,再使用Z轴旋钮进行下针,最后则使用X轴旋钮左右滑动,观察是否有少许划痕,证明是否已经接触。
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确保针尖和被测点接触良好后,则可以通过连接的测试设备开始测试。
产品实拍图
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