LED外延设备不锈钢氨气滤芯

  康华过滤科技可生产替代Veeco以及AIXTRON公司MOCVD设备K-465，K465i，E-300 机型的滤芯。 可根据客户要求设计，订做。（调整：尺寸，使用材料，整体构造等）为客户产品打造合适的滤芯，确保各种过滤要求，达到好的过滤效果。

Veeco K465 K465i E300外延设备滤芯

产品说明：

该产品系我司针对Veeco K465i设备设计生产的滤芯，安装于真空泵前，用于滤除混合气体中的粉尘和颗粒；

2只/组（粗滤、细滤）

过滤效率：

1、粗滤：100μm=90%

2、细滤：25μm=99.95%

3、透气量：1000L/Sec/㎡