厂商 ：陕西沁蓝化工科技有限公司
陕西 西安市- 主营产品：
- 氨气
- 四氟化碳
- 六氟化硫
联系电话 ：13609200998
商品详细描述
四氟化碳 （CF4)
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项目名称 |
纯度指标（%） | |
| 四氟化碳 |
≥99.999 |
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杂质含量（ppm)
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氧气（O2） |
≤5 |
| 水（H2O） |
≤2 |
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氮气（N2) |
≤2 | |
| 二氧化碳（CO2) |
≤1 |
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一氧化碳（CO） |
≤1 | |
| 碳氢化合物（THC） |
≤1 |
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包装：采用47L、44L钢瓶充装，也可根据客户需要，分装到8L的气瓶中。
用途：四氟化碳是目前微电子工业中用量最大的等离子蚀刻气体 ,其高纯气及四氟化碳高纯气配高纯氧气的混合气,可广泛应用于硅、二氧化硅、氮化硅、磷硅玻璃及钨等薄膜材料的蚀刻，在电子器件表面清洗、太阳能电池的生产、激光技术、气相绝缘、低温制冷、泄漏检验剂、控制宇宙火箭姿态、印刷电路生产中的去污剂等方面也大量使用。
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