快冷式真空退火炉

真空实验炉，又称真空气氛电炉，高温真空气氛炉，无氧退火炉，或者真空气氛烧结炉，专门设计用于对物料在真空状态并通一定气氛（如惰性气体等）环境下进行烧结，最 高温度可以达到1800℃。真空炉采用轻质氧化铝纤维作为炉膛材料，以硅钼棒或者硅碳棒为加热元件，炉体设计是炉膛具有较好的真空密封性，炉体上安装有气体控制系统。

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真空电阻炉可实现诸如淬火、回火、退火、渗碳、氮化、渗金属等几乎全部热处理工艺．还可进行气淬、油淬、硝盐淬、水淬及高熔点金属材料、超硬质工具和粉末冶金材料的烧结，不锈钢、高温合金的钎焊、压接，多晶硅熔炼等。
当前真空高压气冷淬火技术发展较快，相继出现了负压高流率气冷、加压气冷、高压气冷、超高压一气冷等新技术，不但大幅度提高了真空气冷淬火能力，且淬火后工件表面光亮度好，变形小，还有高效、节能、无污染等优点。
真空炉的加热是在一定的密闭空间中进行的，与外界没有接触，可以很大程度上进行热量的应用，减少热损耗，并且炉温的均匀性更加的容易实现和可控；在炉体中的冷却水可以进行循环的利用，使用过程中对水资源无污染。总之可以很大程度上节约水、电等资源。
具有单独冷却室的双室气冷淬火炉的冷却能力优于相同类型的单室炉。200kPa氮气冷却的双室炉的冷却效果和400kPa的单室炉相当。但运行成本、维修成本低。由于我国基础材料工业（石墨、钼材等）和配套元器件（电动机）等水平有待提高。所以在提高600kPa单室高压真空护质量的同时，发展双室加压和高压气冷淬火炉比较符合我国的国情。