斯派曼高压电源维修

我公司专业从事射频等离子体电源的维修、维护及销售，主要服务内容包括：为半导体工厂，液晶面板工厂等提供AE, MKS(ENI), DAIHEN, AD-TEC, KYOSAN, RFPP等国际品牌的射频电源、直流电源、匹配器、RPS及各类半导体设备维修、销售、客户方案定制与老式机型替代，并提供现场支持服务。 公司主要客户：TSMC, HYNIX, SMIC, IVO, JCAP, MEMSIC, HHNEC, SZ TIANMA, HEJIAN, JA SOLAR,SONY, TOSHIBA, BEST SOLAR等。 二、产品介绍 KYOSAN RFK50ZH-EV1 13.56MHz / 5000 W 射频电源 Oscillation frequency 13.56MHz Rated output 5kW Harmonic distortion rate -45dB or lower Output method MOS-FET Method Output connector DIN7/16 or LC type Input voltage Three-phase 200/220V Input power 8.0kVA or less Cooling method water cooling (6liters/minute) Dimension 240W×555D×177H (mm) (Not including protruding parts) Weight 23kg