小光斑抗干扰高精度激光位移传感器

  高精度激光位移传感器是利用几何三角原理，通过测量传感器发射的激光光束，       被被测物体表面反射回来，在传感器内部的PSD（光敏位置器件）或线阵CCD上       的成像位 置来计算目标物距离的系统。 

  激光位移传感器主要用于短距离、高精度测量，其系统测量精度可达1um，         分辨率0.1um，满量程线性度0.1%。激光位移传感器可对被测量物体的位置、         位移等变化实现非接触测量，其主要应用于检测物的位移、厚度、振动、距离、       直径等几何量的测量。