增城AE电源维修

厂商 ：广州杰控自动化设备有限公司

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商品详细描述

Pinnacle Plus+

Advanced Energy (AE) 的 Pinnacle Plus+ 电源为单体直流脉冲电源，为您的反应工艺提供脉冲直流电解决方案所有优点，包括使用简单、节约成本以及具有的灵活性。结合标准直流电技术和经过工艺证明的脉冲直流电技术，Pinnacle Plus+ 电源与复杂而昂贵的交流电解决方案相比，沉积率更高，重复性能更好，薄膜质量更为好。

优势

特点

更高的沉积率与产品率 薄膜均匀性和品质一流 成弧造成的基材损坏减少 成本更低 系统整合容易 工艺灵活性和宽容度 重复性能 在过度曲线上运行稳定 吞吐量更高 便于监控 无与伦比的系统灵活性

一个紧凑型封装 频率调节范围为 5-350kHz 占空比高达45% 电压范围宽--单输出宽阻抗范围 大功率运行 基材温度低 单输出(5kW 和 10kW 型号) 用于双阴极生产的双输出(双路5kW 型号) 绝佳的弧控制 反应性溅射闭环控制                                                                                                                                         

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