R14制冷剂 四氟化碳

冷媒名称

R-14

冷媒名称

R-14

沸点（1atm），℃

-128.1

破坏臭氧潜能值（ODP）

0

饱和蒸气压（-150.7℃），kPa

13.33

全球变暖潜能值(GWP，100 yr)

5700

临界温度，℃

-45.6

燃烧

不可燃

临界压力，MPa

3.75

ASHRAE安全级别

A1（不可燃）

主要应用

R14主要用于超低温（深冷）复叠式制冷设备中，R14也是低温配合冷媒的重要组分；四氟化碳（，、氟碳14、carbon tetrafluoride、tetrafluoromethane、halocarbon 14、CF4、PFC-14）是目前微电子工业中用量最大的等离子蚀刻气体，其高纯气及四氟化碳高纯气配高纯氧气的混合气，可广泛应用于硅、二氧化硅、氮化硅、磷硅玻璃及钨等薄膜材料的蚀刻，在电子器件表面清洗、太阳能电池的生产、激光技术、气相绝缘、泄漏检验剂、印刷电路生产中的去污剂等方面也大量使用。

包装规格

钢瓶包装，5kg/瓶，32.8kg/瓶。