厂商 :北京宇达晴硕净化工程有限公司
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洁净的生产环境是生产工艺的需要,是确保产品的成品率和产品质量的可靠性、长寿命所必须的。随着我国国民经济的发展,各行各业对生产环境的温度、相对湿度和洁净度的要求也越来越高。例如:大规模和超大规模集成电路的发展很快,在1980年时其集成度只有64KB,而到目前集成度已提高到1GB或更高;64KB集成电路前工序生产所要求生产环境的空气洁净度等级只有4级和5级,而1GB集成电路前工序生产对生产环境洁净度等级的要求提高到l级和2级(O.1μm)。
不同的生产工艺,不同的生产工序对生产环境的要求也是不相同的,因此,确定洁净室的空气洁净度等级时应根据不同工艺、不同工序对环境的洁净度要求而定。
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