厂商 :成都翔芯科技有限责任公司
四川 成都- 主营产品:
- 计算机控制设备
- 显示设备
- 检测设备
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商品详细描述
本系统是一个自我平衡的循环装置,包含热交换器、循环泵、压缩机和控制系统,可将循环流体温度控制在-30℃到+90℃。次温控设备(Chiller)主要用于半导体制程中对反应腔温度的精准控制。
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