CVD气相沉积炉炉体采用上下“分-体”式结构，内部设计有对流栅格，内部气流容易形成上下对流循环，有利于炉温平衡，温场均匀。采用双层内胆式炉膛结构，中间有气隙隔离，科学合理，炉壳温度较低，使用安全。用进口保温材料做炉衬，整机能耗仅仅只有同等传统电炉的1/3，节能环保。
CVD气相沉积炉加热元件呈圆周状轴向均匀分布，发热元件内嵌固化在炉衬里，加热时不会因加热元件变形短路，热量辐射也非常均匀.每台炉子出厂时：都经过低温，中温，高温的老化测试，确保产品质量稳定可靠，不合格品严禁出厂。还可以利用该设备的炉体可以在水平轨道上来回移动的方法，实现快速降温.
CVD气相沉积炉采用法兰密封，放、取物料方便快捷；炉体可左右移动，可实现迅速降温，满足材料骤冷骤热的实验要求；炉膛采用日本技术真空吸附成型的优质氧化铝多晶纤维无机材料，保温性能好，耐用，拉伸强度高，无杂球，纯度高，节能效果明显优于其它国内纤维材料，内嵌式电阻丝采用高电阻优质合金丝0Cr27Al7Mo2，经久耐用，最高发热温度可达1200℃。
CVD气相沉积炉
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产品型号
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MXGH1200-60
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温区设置
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一温区
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加热区长度
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440mm（根据客户要求定制）
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恒温区长度
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200mm
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额定功率
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6KW
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炉膛
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进口高纯氧化铝多晶纤维固化炉膛，保温性能好
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炉管尺寸
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Φ60×2200mm
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加热元件
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硅碳棒
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测温元件
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S型热电偶
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测温方式
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温度控制系统采用人工智能调节技术，具有PID调节、自整定功能，并可编制30段升降温程序
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密封方式
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不锈钢法兰挤压密封
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标配真空度
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≤50Pa（常规机械泵+指针压力表）
≤10Pa（高配机械泵+数显压力表）
≤0.005Pa（分子泵系统）
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工作温度
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≤1100℃
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最高温度
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1200℃
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恒温精度
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±1℃
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快速升温速度
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30℃/min
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推荐升温速度
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10℃/min
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工作电源
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AC220V 50HZ/60HZ
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标准配件
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防护手套1双；坩埚钳1把；刚玉舟1只；石英管；炉塞；炉勾；6号内六角（法兰专用）；法兰一套；配套气管；高温密封圈8个；产品说明书1份；仪表说明书1份；保修证书1份。
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可选购附件
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炉架，供混气系统，低、中、高真空系统，各种石英坩埚或者刚玉坩埚，刚玉或石英管，高温手套，计算机控制软件，无纸记录仪等
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