厂商 ：上海纳动纳米位移技术有限公司
上海 徐汇区- 主营产品：
- 压电控制器
- 压电促动器
- 压电纳米定位台
Z轴▕ PKVL60-080/160U-S ?25mm 规格型号PKVL60-080U-S▕ PKVL60-160U-S 典型特性一维纳米定位平台、中央孔径?25mm、运动范围80~160μm、可选集成反馈传感器 产品应用扫描探针显微镜、原子力显微镜、光谱分析、FPD相关检查、光刻系统、曝光装置、定位测量
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产品型号 |
PK1L100-300U |
PK1L100-300U-S |
公差 |
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运动自由度 |
X |
X |
- |
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传感器类型 |
- |
Strain Gage |
- |
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标称行程范围（@0~+120V） |
300 μm |
300 μm |
±20% |
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最大行程范围@-20~+150V） |
360 μm |
360 μm |
±20% |
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分辨率 |
5 nm |
10 nm |
typ. |
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重复定位精度 |
- |
0.1% F.S. |
typ. |
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线性度 |
- |
0.2% |
typ. |
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承载能力 |
35 N |
35 N |
Max. |
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刚度 |
0.2 N/μm |
0.2 N/μm |
±20% |
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推力/拉力 |
150N / 15N |
150N / 15N |
typ. |
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谐振频率 |
0g |
600 Hz |
600 Hz |
±20% |
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静电容量 |
21 μF |
21 μF |
±20% |
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工作温度范围 |
0~+50 ℃ |
0~+50 ℃ |
- |
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驱动电压范围（推荐）1 |
0~+120 V @固定电压 |
0~+120 V @固定电压 |
typ. |
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线缆长度 |
1.5 m |
1.5 m |
±10mm |
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中空尺寸 |
?35mm |
?35mm |
- | |
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外形尺寸(LxWxH) |
100×100×15 mm |
100×100×15 mm |
- |
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重量 |
220 g |
220 g |
±5% |
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本体材质2 |
铝（B） |
铝（B） |
- |
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说明：1.最大驱动电压可在-20V~+150V使用；长期使用建议在0~120V驱动电压下可延长使用寿命。
2.表面处理:白色(W)/黑色(B)。
