厂商 ：深圳市慧烁机电公司
广东 深圳市- 主营产品：
- 紫外清洗机
- 热封口机
- 气压检漏仪
PE- 100台式等离子体系统
PE-100是一个完整的台式等离子体处理解决方案，能够进行反应离子刻蚀,等离子体功能化,等更多功能。这个型号为制造商、医疗设施,大学,研究机构,或任何其他公司需要一个具有成本效益的工业生产等离子处理提供完善的解决方案。
合适的真空腔大小,大功率高频射频电源的使用,创建一个生产能力足够小的设备,适合实验室或生产几乎任何地方。
全电脑控制可以增强一致性和配方的复杂性。电脑自动化易于在生产车间使用。
PE-200工业台式等离子处理系统
PE-200是工业级等离子体处理解决方案，可以进行等离子体清洗，蚀刻，反应离子刻蚀(RIE)等等。这个型号为制造厂、大学、研究机构,或任何其他需要一个具有成本效益的、高产量等离子处理的公司提供完美的解决方案。
PE100/200系列有三种可能的等离子配置:
1)等离子体清洗/等离子蚀刻
2)反应离子刻蚀(RIE)
3)可转换配置,包括各向同性和各向异性等离子体处理在一个单一的系统。可移动托盘配置。
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标准系统功能 |
PE-100 |
PE-200 |
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真空腔，6061 T6铝材，矩形 |
12"W x 14"D x 12"H |
17"W x 17"D x 14"H |
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3层电极配置：水平，平面 |
9“W x 13”Dx 3层; 3“ 间隔 |
13"W x 16"D x 3 层 3" 间隔 |
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RF射频电源和匹配变压器 |
300 W @ 100-460 KHz |
300 W @ 13.56 MHz |
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质量流量控制器-1路 |
0-50 cc/min |
0-200 CC/Min |
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真空计 |
0-1 Torr |
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基于PC的控制系统 |
PC软件过程监控 |
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爱德华RV12真空泵, 氧气服务 |
8 CFM |
29 CFM |
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真空泵油雾分离器 |
包含 |
不包含 |
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真空泵油过滤器 |
没有 |
3 微米 |
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大致的包装重量，基本系统 |
500 Lbs |
950 Lbs |
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主机外形尺寸 |
18"W x 26.5"D x 29.5"H |
50-1/2"W x 57"D x 60"H |
选项
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可选系统功能 |
PE-100 |
PE-200 |
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质量流量控制器 （第2路或第3路） |
0-50 cc/min |
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（高频） 射频电源，带自动匹配网络 |
300W@13.56MHZ |
600W@13.56MHZ |
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真空泵干式涡旋真空泵（无油） |
6.5CFM爱德华 |
56 CFM或21CFM爱德华 |
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真空泵干式泵消声器 |
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不锈钢腔体和电极 |
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过程温度控制（专利）恒温水浴锅冷水机/再循环装置0° to 100°C ± 5.0°C |
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自动氮气灌注，真空泵 |
单通道 |
双通道 |
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控制速度氮气灌注，真空腔 |
针阀 |
蝶阀 |
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静电防护6个表面 |
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小型烟气处理器带风机 |
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RIE标准版 |
6 " 正方形水冷 |
10 " 正方形水冷 |
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RIE 带直接等离子转换包 |
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