厂商 ：深圳市慧烁机电公司
广东 深圳市- 主营产品：
- 紫外清洗机
- 热封口机
- 气压检漏仪
BT-1工业等离子体处理系统
BT-1是一个完整的工业级别等离子体处理解决方案，可以进行等离子体清洗、等离子体蚀刻、反应离子刻蚀(RIE)等等。大型处理搁板和宽敞的处理室使这个型号适合半导体、电子器件、太阳能行业、PCB(印刷电路板),和工业制造业市场以及需要一个具有成本效益的、高产等离子处理的解决方案其他公司。
标准系统功能
真空腔，6061 T6铝材-矩形
24-3/4"W x 25"D x 21"H (ID)
5层电极配置：水平，平面
5 Levels, 20"W x 21"D x 3" Spacing
RF射频电源和匹配变压器
600 W @ 13.56 MHz
质量流量控制器-1路
0-200 CC/Min
真空计，皮拉尼
0-1 Torr
爱德华E2M40真空泵, 氧气服务
29 CFM
微处理器控制，6“触摸显示屏
Included
可选系统功能
过程温度控制（专利）恒温水浴锅冷水机/再循环装置
0° to 100°C ± 5.0°C
RF射频电源和匹配变压器
1200 W @ 13.56MHz
RF射频电源和匹配变压器
2000 W @ 13.56MHz
质量流量控制器，第2路和第3路
0-200 CC/Min
静电防护，真空腔（专利）
Available
油真空泵，氧气服务，高流量
56 CFM
爱德华 E2M80/EH500真空泵和风机组合
355/56 CFM
爱德华 E2M40/EH500真空泵和风机组合
355/29 CFM
爱德华 XD-46I 干泵（价格代替29CM)
35 CFM
爱德华 GV80S干泵 （价格代替29CFM)
56 CFM
真空泵油雾分离器
Available
自动氮气注入，真空泵
Dual Channel
控制速率氮气注入，腔体
Available
低气压气体报警，1-4通道
Available
RIE配置
Available
PC控制系统
Available
气体软件和硬件配置
2路X2种气体
Available
2路X5种气体
Available
3路X5种气体
Available
自动真空控制器和蝶阀
Available
可选系统功能
自动真空腔体门执行器
Available
机器人上下料系统
Available
可选系统功能
烟气处理器，填料床
Available
Haskris冷水机（R100， 3.85KW) -对应PS/GV80组合
Available
Hercules 冷水机- 对应PS/GV80组合
Available
压缩气体干燥器（注入气体产生器）
Available
