厂商 ：宝鸡大洋金属
陕西 宝鸡- 主营产品：
- 钛棒
- 钛丝
- 钛管
联系电话 ：18829872610
商品详细描述
|
品 名
|
纯度
|
密度
|
镀膜优势色
|
形状
|
常规尺寸
|
应用行业
|
|
钛铝（TiAl）合金靶
|
2N8-4N
|
3.6-4.2
|
玫瑰金/咖啡色
|
圆柱形
|
直 径
60/65/95/100*30/32/40/45mm
|
装饰/工具
|
|
纯钛（Ti）靶）
|
2N8-4N
|
4.51
|
金黄色/qiang黑色
蓝色/玫瑰红
|
圆柱形
|
||
靶材的主要性能要求:
纯度
纯度是靶材的主要性能指标之一，因为靶材的纯度对薄膜的性能影响很大。不过在实际应用中，对靶材的纯度要求也不尽相同。随着微电子行业的迅速发展，硅片尺寸由6”, 8“发展到12”, 而布线宽度由0.5um减小到0.25um,0.18um甚至0.13um，以前99.995%的靶材纯度可以满足0.35umIC的工艺要求，而制备0.18um线条对靶材纯度则要求99.999%甚至99.9999%。
杂质含量
靶材固体中的杂质和气孔中的yang气和水气是沉积薄膜的主要污染源。不同用途的靶材对不同杂质含量的要求也不同。例如，半导体工业用的纯铝及铝合金靶材，对碱金属含量和放射性元素含量都有特殊要求。
密度
为了减少靶材固体中的气孔，提高溅射薄膜的性能，通常要求靶材具有较高的密度。靶材的密度不仅影响溅射速率，还影响着薄膜的电学和光学性能。靶材密度越高，薄膜的性能越好。此外，提高靶材的密度和强度使靶材能更好地承受溅射过程中的热应力。密度也是靶材的关键性能指标之一。
晶粒尺寸及晶粒尺寸分布
通常靶材为多晶结构，晶粒大小可由微米到毫米量级。对于同一种靶材，晶粒细小的靶的溅射速率比晶粒粗大的靶的溅射速率快；而晶粒尺寸相差较小(分布均匀)的靶溅射沉积的薄膜的厚度分布更均匀。
售后服务：
随货提供质量证明书，严格按用户要求的质量标准供货，并对质量负责到底，对不相符的材料经第三方机构检测确认后包退、包换、包赔。
宝鸡大洋金属材料有限公司
宝鸡市高新区钛城路中段
QQ：2320851421
电话：18829872610
邮箱：2320851421@qq.com
公司网站: www.ocean-ti.com
相关产品推荐
