立式真空等离子清洗机

立式真空等离子清洗机

PL-DW60真空等离子清洗机：等离子通常称作物质的第四种状态，前三种状态是固体、液体、气体，它们是比较常见的，就存在于我们周围。等离子在地球上只存在于某种特定环境，如闪电、极光。就好象把固体转变成气体需要能量一样，产生离子体也需要能量。一定量的离子体是由带电粒子和中性粒子（包括原子、离子和自由粒子）混合组成。离子体能够导电。

等离子技术的应用

通过对物体表面进行等离子轰击，可以达到对物体表面的蚀刻，活化，清洗等目的。可以显著加强这些表面的粘性及焊接强度，等离子表面处理系统现正应用于LCD，LED，IC，PCB，SMT，BGA，引线框架，平板显示器的清洗和蚀刻。等离子清洗过的IC可显著提高焊线强度，减少电路故障的可能性。残余的感光阻剂、树脂，溶液残渣及其他有机污染物暴露于等离子体区，短时间内就能清除。PCB制造商用等离子蚀刻系统进行去污和蚀刻来带走钻孔中的绝缘物。对许多产品，不论它们是应用于工业。电子、航空、健康等行业，可靠性都依靠于两个表面之间的粘结强度。不管表面是金属、陶瓷、聚合物、塑料或是其中的复合物，等离子体都有潜能改进粘着力，提高最终产品质量。等离子体改变任何表面的能力是安全的、环保的、经济的。它是许多行业面临的挑战问题的可行的解决方案。

等离子处理的原理

给一组电极通上射频电源，电极之间形成高频交变电场，区域内气体在交变电场的激荡下，形成等离子体，活性等离子对物体表面进行物理轰击与化学反应双重作用，使被清洗物表面物质变成粒子和气态物质，经过抽真空排出，而达到表面处理的目的。

等离子清洗设备的构造与运行过程

  等离子清洗设备的基本构造

           根据用途的不同，可选用多种构造的等离子清洗设备，并可通过选用不用种类的气体，调整装置的基本结构大致是相同的，一般装置可由真空室、真空泵、高频电源、点击、气体导入系统、工作传送系统和控制系统等部分组成。通常使用的真空泵是旋转油泵，高频电源通常用13.56MHz的无线电波，设备的运行过程如下：

（1） 被清洗的工件送入真空室并加以固定，启动运行装置，开始排气，使真空室的真空程度达到10Pa左右的标准真空度。一般排气时间大约需要2min。

（2） 向真空室引入等离子清洗用的气体，并使其压力保持在100pa。根据清洗材质的不用，可分别选用氧气、氢气、或氮气等气体。

（3） 在真空室内的电极与接地装置之间施加高频电压，使气体被击穿，并通过辉光放电而发生离子化和产生等离子体。让在真空室产生的等离子体完全笼罩在被处理工件，开始清洗作业。一般清洗处理持续几十秒到几分钟。

（4） 清洗完毕后切断高频电压，并将气体及汽化的污垢排出，同时向真空室内鼓入气体，并使气压升至一个大气压。