厂商 ：北京环球金鑫
北京 怀柔区- 主营产品：
MoNb,AlNd,ITO,IGZO靶材
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产品名称：IGZO靶材
常规原子比：1:1：1：4 （客户亦可根据自身工艺制订原子比例）
技术对接：CVD合成四元合金（高精分析天平称量，各种元素的配比公差低于百万分之一）--
氮气保护下研磨制粉 –HP （热压）--检验—打磨，抛光。
产品说明书
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IGZO靶材 |
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纯度（IGZO>99.99%）密度6.0g/cm3 |
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杂质（PPM Max.） |
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杂质名称 |
含量 |
杂质名称 |
含量 |
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Fe |
4 |
Ni |
4 |
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As |
6 |
Sb |
5 |
|
Cd |
4 |
Ca |
8 |
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Cu |
3 |
Pb |
1 |
|
Co |
3 |
Mg |
3 |
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Cr |
2 |
Na |
2 |
|
Mn |
4 |
Zr |
3 |
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颜色 |
灰黑色 |
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相对密度 |
≥99% |
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产品指标
1）纯度≥4N（99.99%，基于金属杂质）
2）相对密度大于等于99%
3）产品最大尺寸：300X300mm
4)靶材电阻率：1X10-2—10-3Ωcm
Tel ：+86 010 56188357
Mob ：13121550789
Q Q ：2205888486
Email：2205888486@qq.com
