精密压电偏摆/旋转台系列

P51系列纳米定位偏转台是专为精确对准、纳米聚焦、精密测量等应用而设计的，它的特点是中心具有一个仅26.5mm深而长宽100mm×100mm的中空孔。可以达到亚纳米的分辨率实现精确定位。

P54旋转台特性：

运动轴：θX, θ Y、最大偏转行程可达±1.1mrad、通孔：80mm*80mm、SGS应变片传感器作反、

N50旋转台特性：、运动自由度：θx(偏摆)，θz(旋转)、采用进口压电陶瓷驱动闭环控制、定位精度及重复定位精度满足0.2%F.S.、一体化串并联去耦运动机构设计，大负载，高动态