非接触高精度电容式位移传感器

非接触高精度电容式位移传感器MicroSense5美国位移传感器

基于电容式感技术专利，MicroSense Probe 电容式位移传感器提供高准确度，高带宽测量精度电容式位移传感器设备，为满足客户高准确度的应用要求,MicroSense 优化传感器的操作性能以达到高稳定性和线性方案、高分辨率、高带宽测量方案，用于测量硬盘驱动马达，气动轴承转子，X-Y样品台精确度，光盘，汽车零部件和机床等测量。 产品详细信息 精密电容式位移传感器 非接触式高分辨率近距离位移测量 MicroSense 公司（前身是ADE Technologies, KLA_TENCOR的子公司）开创了高辨率电容式位移传感器的先河，致力于为客户提供以艺术级别性能的高精度非接触式微位移传感器。 MicroSense Probe 电容式位移传感器特性 1.完全非接触式电容式微位移测量—最准确的电子感应技术, 无损样品测量 2.最优化的近距离测量—测量距离在10微米到5毫米 3.高准确性，高灵敏性测量，最高精度可达0.5nm。 4.可探测任何可传导性、接地的测量目标—表面是否抛光以及材质对测量准确度无任何影响 5.用途广泛: 金属薄片厚度测量,振动测量,工作台垂直度(Straighness)和平坦度(flatness)测量,精密马达转轴偏振测量(Axial, Radial, Spindle runout),精密仪器工作平台定 位，设备自动聚焦测量(微影设备，原子力显微镜，光罩探测，图像确认，LCD生产设备…) 测量表（Gauge）型号 5800系列 以高动态测量著称--高分辨率测量，可达100Khz 带宽测量，可靠性测量甚至达触 地物例如气动转子和马达 测量探头(Probe)形状 。