ZATA光学轮廓仪

ZATA光学轮廓仪Zeta-20表面轮廓测试系统-衡鹏供应

Zeta-20表面轮廓测试系统概述
型号：Zeta-20
产品：光学轮廓仪/表面轮廓测试系统
品牌：Zeta泽塔
简介：最顶级的3D成像及测试系统 （为用户量身打造的表面轮廓测量设备，是表面量测领域的最佳选择 ）
  
Zeta-20表面轮廓测试系统技术规格
Zeta-20性能配置
  数据获取： 小于10秒(200步扫描)
  3D扫描： 每秒大于30步
  像素分辨率： 0.031μm (1X耦合镜、150X物镜)
  Z轴分辨率： 0.002 μm (压电陶瓷载台)
  重复性(1σ): 0.006 μm (压电陶瓷载台和防震桌)

Zeta-20标准功能
  相机选项： 640x480, 1024x768,
  1280x960像素
  放大倍率： 45000X (光学加数字)
  照明： 双重高亮度白光LED
  手动载台： 100mm x 100mm XY移动距离
  Z轴移动距离：40mm

Zeta-20产品尺寸
显微镜: 305 x 406 x 559
计算机: 381 x 457 x 102
显示器: 596 x 449 x 240
总重量: 65 lbs/29.5 kg

Zeta-20操作环境
电压: 100 - 230 VAC
电流: 2A
操作温度: 18 - 30oC, 非冷凝,± 1oC 每小时

Zeta-20表面轮廓测试特点
功能齐全，操作简易，用途广泛的Zeta-20

ZDotTM专利技术擅于对高粗糙度、低反射率的表面进行成像分析
·具有防反射涂层的太阳能电池片
·图形化/蚀刻的LED基板
·生物微机电、微机电系统和微流体槽
·透明的多表面样品成像

Zeta-20可快速获取数据
·可配置快于10秒扫一幅三维图像的采集速度
·简明易学的软件操作界面

Zeta-20具强大的三维分析功能
·台阶高度、粗糙度、面积、体积、角度及其它表面属性
·数据输出格式与常见的第三方分析软件可兼容

Zeta-20高度的灵活性
测量复杂的表面特征
从深槽到金刚石钢线，Zeta-20强大的成像能力可对各种复杂表面进行测量。通常这些表面由于太粗糙、太暗或是坡度太陡而无法用其它设备测量。

Zeta-20选项配置齐全
在科研过程中所涉及的样品表面类型往往难以预测。因此，Zeta-20使用模块化设计理念，为用户提供了一系列的硬件和软件选项来满足各种不同的测量需求。
·薄膜厚度光谱仪
·可测量纳米级粗糙度的QDIC/Nomarski选项
·iX5干涉物镜
·Z轴分辨率高达2nm的压电陶瓷载台
·倾斜载台和真空吸附卡具
·自动特征提取和测量软件
·自动表面面积测量、统计分析 ...以及其它众多选项！

Zeta-20可在特定行业的测量应用

太阳能电池片表面分析：
·自动测量栅线的高度、宽度和体积
·单晶硅和多晶硅表面面积和绒面分析
·氮化硅防反射层薄膜厚度测量
·多点、自动栅线测量
·156mm太阳能电池片真空吸附载台

LED 和图形化蓝宝石基板(PSS)分析
·自动测量PSS高度、尺寸和周期
·分析光阻和蚀刻后PSS特征
·自动定位和测量外延后Mesa的粗糙度
·适用于2"、4"和6"晶圆的真空载台

微流体和微机电的测量分析
·透明的多层表面轮廓测量
·深槽、深井以及其它高纵深比的特征点测量
·灵活的、可自定义的横截面及测量点的设置

简便、易用的测量方法
·自动载物台支持多点测量序列和三维图像拼接
·自动坡度和波度补偿
·自动将待测表面调成水平
·自动测量高度、尺寸、角度、面积和体积
·自动测量线粗糙度和面粗糙度