厂商 :合肥费舍罗热能技术有限公司
安徽 合肥- 主营产品:
- 管式炉
- 箱式炉
- 马弗炉
FGL(RTP)系列滑轨式管式炉(T max 1100℃)
滑轨管式炉一体化结构设计,用于1100℃以下快速升温快速降温的特殊工艺要求,通过移动炉体实现快速冷却的目的。同时也可以预先设定温度,然后移动到样品处,达到快速升温的效果。高纯石英管作为炉膛,无污染,抗急冷急热性能好。设备外形精巧美观,周边拓展性好,适合使用广泛的RTP工艺及CVD石墨烯工艺。
特点
u 工作温度RT~1000℃。
u 炉管管径25mm~90mm可选。
u 温区个数1个
u 程序控温仪,智能逻辑PID算法,控制精准。可编辑、储存并调用多段程序,无需重新设置,操作简单。
u 采用陶瓷纤维FEC加热模块,电阻丝内嵌式环绕加热。
u 炉壳结构,双层炉壳风冷结构。
u 炉口密封:不锈钢双层密封法兰,进、出气美标针阀。
u 炉管保护:两端可调节式法兰支撑结构,延长石英管的使用寿命。
u 超温保护功能,当温度超过允许设定值自动断电。
u 安全保护当炉体漏电时自动断电。。
u LED高强度抗破坏全不锈钢按钮,经久耐用。
u 额外选配:炉内测量系统(氧含量检测系统、温度检测系统);
真空系统(旋片式机械泵、扩散泵机组、分子泵机组);
气氛系统(浮子流量计、质量流量计);
监控系统:(温度记录仪、触摸屏远程监控);
注:选件需配置拓展柜体;
技术参数:
设备型号 |
最高温度 |
管径 |
加热区 |
温区数 |
热电偶类型 |
电压 |
功率 |
FGL(RTP)-40/11/1 |
1100℃ |
40mm |
320 mm |
1个 |
K型 |
220V |
3.0KW |
FGL(RTP)-50/11/1 |
1100℃ |
50mm |
320 mm |
1个 |
K型 |
220V |
|
FGL(RTP)-60/11/1 |
1100℃ |
60mm |
320 mm |
1个 |
K型 |
220V |
|
FGL(RTP)-80/11/1 |
1100℃ |
80mm |
320 mm |
1个 |
K型 |
220V |
|
FGL(RTP)-90/11/1 |
1100℃ |
90mm |
320 mm |
1个 |
K型 |
220V |
注:给出的最高温度为工作管外测定,其它温区个数和加热区长度可根据客户工艺要求定制。