多晶硅铸锭炉 多晶硅提纯铸锭炉

多 晶 硅 铸 锭 炉(生产用)

型号：ZG-450 

炉型：立式

一. 设备用途：本设备为专利产品，采用电阻加热方式，底部进出料结构。一次装入最多达450Kg多晶硅原料，设备主要特点：

1、 炉底设有防漏硅装置及防爆装置；

2、 温度梯度好，拉出硅棒效果好，杂质少；

3、 炉底升降采用柔性传动机构，大大减少机械损耗，操作方便

4、 本产品重要部件已获得专利，一种带可升降式保温罩的多晶硅铸锭炉；实用新型200820055740.5；一种带水冷式双电极和软电缆的多晶硅炉；实用新型200820055739.2；发明专利200810033908.7。 

二. 技术参数：

1.额定功率：                     200KW   

2.常用温度：                     1500℃      最高温度：1600℃

3.冷态极限真空度：               ＜1Pa  

4.坩埚尺寸：                     870×870×420（L×W×H）m

5、最大铸锭重量:                 450Kg

6.移动隔热屏最大位移量：         380（mm）

7.移动隔热屏提升速度：           5～100mm/h(可调) 

8.压升率：                       4pa/h

9、工作气氛:                     氩气

产品特点：
1.每炉生产周期短：
加热熔化12小时内完成，结晶过程20小时，回火2小时完成，冷却10小时内，总时间控制在46小时。
2.维护成本低：
每套加热元件成本不超过1万元。
3.热场更换方便：
热场上下分离式方便更换
4.多种保护措施，更安全：
经用户一年使用的实践证明到目前为止未发生一起漏硅导致的安全事故。
5.自动化程度高：
采用PLC+人机界面实现一次设定完成整个工艺过程
6 .专利结构上下温度梯度更大：
采用专利的铸锭结构，热场的上下温度差更大，提纯效果显著，4N原料己能生产出5N以上的多晶硅。