上海真空硒化炉 气氛管式硒化炉

真空/气氛管式硒化炉

型号：RG-3-8

一、 主要技术参数

1、 管内加热方式：真空管内采用两区域内加热方式：1区采用可调节功能的加热灯加热固态硒源，最高加热温度：250℃；2区采用钼加热器加热预制层薄膜，最高温度800℃，可实现程序控温，控温精度达±2℃。

2、 炉壁加热方式:炉壁采用电阻丝加热, 使用温度250℃，可实现程序控温，控温精度达±2℃。

         3、额定功率：        3 Kw±10%。

         4、电源：            三相  380V  50Hz。

         5、工作区尺寸：      Φ100×600 mm（直径×长）。

         6、保护气氛：        氩气。

         7、充气压力：        ≤500 Pa。

         8、冷态极限真空度：  6.67×10-3 Pa(在100℃温度以下允许抽真空)。

         9、压升率：          2.0 Pa/h。

         10、控温区数：        3区。