厂商 :深圳市佳凯达干冰贸易有限公司
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商品详细描述
液氩工业应用:氩气的主要应用于焊接、不锈钢制造、冶炼,还用于半导体制造工艺中的化学气相淀积、晶体生长、热氧化、外延、扩散、多晶硅、钨化、离子注入、载流、烧结等。用作ICP,气相色谱仪等仪器的载气,标准气、平衡气、零点气等。
使用液氩前,应调整液氩储罐内压力到0.8—1.2MPa,打开氩气表,使压力达到0.18-0.25Mpa,满足所有管路连接设备的使用要求后,将氩气表压力控制在稳定位置。
使用过程中,每班次应检查储罐压力,当压力接近于设备使用要求的上下限、达到或接近液氩储罐最低储量时,要增加观察频次,并及时上报,进行更换处理。当储罐压力接近于设备使用要求的下限时,启动增压阀增压,操作程序为:缓慢打开增压阀,当储罐的压力表指示达到设备正常工作压力且低于储罐最大工作压力时,关闭增压阀。 1.4使用过程中,随时观察储罐的液面高度,当液面高度低于红线时,关闭储罐调压阀,停止使用储罐内液氩,以保证再次充液时的氩气纯度。每罐氩气使用后,必须保证罐内有余压保证在0. 3Mpa工作压力以上,以确保氩气纯度。
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