厂商 ：深圳市深特工业气体有限公司
广东 深圳- 主营产品：
- 供应高纯氧气
- 供应高纯乙炔
- 供应混合气体
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商品详细描述
高纯氩气
高纯氩气(超纯氩 Ar Argon ) CAS：7440-37-1
包装：通常采用40升钢瓶(12～15MPa)，也可根据客户需要，分装到2～10升的气瓶(10MPa)中。
高纯氩（超纯氩）主要用途：
用于焊接、不锈钢制造、冶炼，还用于半导体制造工艺中的化学气相淀积、晶体生长、热氧化、外延、扩散、多晶硅、钨化、离子注入、载流、烧结等。用作标准气、平衡气、零点气等。
| 项目 | 指标纯度% | ||||
| 高纯氩气(Ar) | 99.999 | 99.9995 | 99.9997 | 超纯氩 99.9999 | |
| 杂质含量(ppm) | 氮(N2) | ≤5 | ≤5 | ≤3 | ≤0.4 |
| 氧(O2) | ≤2 | ≤0.5 | ≤0.5 | ≤0.2 | |
| 氢(H2) | ≤1 | - | - | - | |
| 一氧化碳(CO) | - | ≤1 | ≤0.5 | ≤0.1 | |
| 二氧化碳(CO2) | - | ≤1 | ≤0.5 | ≤0.1 | |
| 水份 (H2O) | ≤4 | ≤0.5 | ≤0.5 | ≤0.2 | |
| 总烃类THC | ≤2 | ≤0.3 | ≤0.2 | ≤0.1 | |
高纯氩（超纯氩）主要用途：
用于焊接、不锈钢制造、冶炼，还用于半导体制造工艺中的化学气相淀积、晶体生长、热氧化、外延、扩散、多晶硅、钨化、离子注入、载流、烧结等。用作标准气、平衡气、零点气等。
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