半导体FPD检查显微镜MX6

厂商 :苏州维伯特科学器材有限公司

江苏 苏州市
  • 主营产品:
  • 宾德植物生长箱
  • 欧司朗紫外灯红外灯
  • 密理博超纯水机
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商品详细描述

能对应300 mm晶圆和17英寸FPD玻璃基板的电动型号(反射透射兼用)

应对明视场观察到荧光观察的多种观察方法。切换物镜时自动调节连动的亮度光圈等,实现了舒适的检查环境。配备14×12英寸载物台,能应对大型样本。
半导体/FPD检查显微镜MX61L
半导体/FPD检查显微镜MX61L
观察影像实例
晶圆(明视场观察) 晶圆(暗视场观察)
晶圆(明视场观察) 晶圆(暗视场观察)
晶圆(微分干涉观察) 彩色滤色片(透射观察)
晶圆(微分干涉观察) 彩色滤色片(透射观察)

明视场 暗视场 微分干涉 荧光 简易偏振光 透射 对应300 mm 晶圆

半导体/FPD检查显微镜 MX61L : 规格

半导体/FPD检查显微镜 为用户提供高效率—这是MX61/MX61L上市时的承诺 MX61适用于最大200mm的样本,而MX61L则可适用于最大300mm的样本 1: 大型载物台搭载:可用于400*300mm液晶基板,300mm晶圆全面检查(MX61L) 2:采用高NA的透射光聚光镜,图象更锐利 3: 多种观察方式,多种照明方式,多种附件以满足不同应用要求 4: 透射和反射照明可同时使用,极大提高液晶基板观察效果

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