根据从涡轮分子级到霍尔维克分子牵引级的排气，阿尔卡特ATH系列为您提供高抽速、低进气口压力以及高排气压力型号齐全的复合式分子泵。抗震动和大气冲击、抽速范围从30到300L/S。
描述
| 单位
| ATH31+
| ATH200
| ATH300
| 入口法兰
|
| DN63
| DN100
| DN100（DN160）
| 最大抽速
| N2 l/S
He l/S
| 30
20
| 200
130
| 250(300)
215(240)
| 极限真空度
| mbar
| < 5*10-10
| < 5*10-10
| < 5*10-10
| 推荐使用的前级泵
|
| PPM、ACP、AMD
| PPM、ACP、AMD
| PPM、ACP、AMD
| 方向
|
| 任意
| 任意
| 任意
| 转速
| PPM
| 42000
| 36000
| 42000
| 启动时间
| min.
| 2
| < 6
| < 3.5
|
高真空之ATP涡轮分子泵系列 阿尔卡特ATP系列可以提供真空度达10-8-10-9mbar，抽速范围从80到2300L/S.
型号
| 入气口法兰
| 氮气抽速(L/S)
| 真空度(mbar)
| ATP80(C)
| DN63 ISO-K/CF-F
| 80
| 5*10-8
| ATP100(C)
| DN100 ISO-K/CF-F
| 100
| 5*10-8
| 型号
| 入气口法兰
| 氮气抽速(L/S)
| 真空度(mbar)
| ATP150(C)
| DN160 ISO-K/CF-F
| 140
| 0.5-1*10-8
| ATP400(C)
| DN160 ISO-K/CF-F
| 400
| 1-8*10-9
| ATP400HPC
| DN160 ISO-K/CF-F
| 380
| 5*10-8
| ATP900(C)
| DN200 ISO-K/CF-F
| 900
| 3*10-9
| ATP400HPC
| DN200 ISO-K/CF-F
| 700
| 5*10-8
|
|
