厂商 ：西安普润机电科技有限责任公司
陕西 西安- 主营产品：
- 高度尺
- 粗糙度仪
- 显微镜等
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商品详细描述
Laser Hologage激光全息测微计
542系列-0.00001mm分辨率型
三丰的Laser Hologage 是一种高端数显测量系统，采用衍射光束干涉，进行高精度和高重复精度测量。它具有超细衍射光栅，将全息影像记录在刻度尺上。Laser Hologage 适于测量精度极高的工件，特别适于半导体等行业使用。
特点
由于具有0.00001mm（0.01um）的极高分辨率适于进行高精度测量，其性能接近激光干涉仪。
具有极高的测量稳定性—高防护性设计，适于在恶劣的环境下工作，如温度和气压变化的环境。
心轴导轨使用高精度线性滚珠轴承，移动非常滤波且延长了使用寿命。
带有显示装置。
技术参数
精度：参见性能参数（不包括量化偏差）
分辨率：0.01um
长度基准：Laser Hologram测量传感器
最大反应速度：250mm/s
测针：R5mm硬质合金
轴套：∮15mm
轴承类型：高精度线性滚珠轴承
测力：参见性能参数
输出信号：90°相位差、差动方行波
信号间距：0.25um
标准附件
538610 带扳手的测头
选件
971751：用于在上表面固定的轴套固定装置
971752：用于在下表面固定的轴套固定装置
971753：心轴提升电缆
971750：Laser Hologage支架
性能参数：
|
测量范围 |
货号 |
分辨率 |
精度 |
测力** |
轴套直径 |
备注 |
|
10mm(.4") |
542-925* |
0.01um/1uinch |
0.1um |
0.55N/0.45N/0.35N |
15mm |
— |
|
10mm(.4") |
542-926* |
0.01um/1uinch |
0.1um |
0.1N/-/- |
15mm |
低测力 |
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