小型气相沉积设备

真空镀膜设备由许多不同的零件组成，它们都是经过各种机械加工完成的，例如车铣、刨、磨、镗、焊接等。真空镀膜设备选购因素

1、真空系统由机械泵、扩散泵、增扩泵、油增压泵、埚轮分子泵等及与它们相匹配的各种气动、手动、电动阀门、管道等组成。

2、根据工艺要求选择不同规格及类型的镀膜设备，其类型有电阻蒸发、电子束蒸发、磁控溅射、磁控反应溅射、离子镀、空心阴极离子镀、多弧离子镀等。

真空镀膜机日常维护保养环节，不可少，维护保养环节做的好，自然机器也更健康，效率也就更高。

真空镀膜设备三大保养技巧

当阀泵连续工作一个月之后，小型气相沉积设备，为保持设备的正常运转我们需要更换油。将泵启动，拧开放油螺栓，使泵内的旧油完全排放出来。拧回放油螺栓，观察油视镜倒入新油加到一定额度，平常换油时应将油盖打开，有需要时用布擦干净箱内污垢。

扩散泵连续使用6个月以上，抽的速度会显然变慢，当操作不当应拆去联结水管，卸下电炉盘，将一级喷嘴拧出，南海气相沉积设备，先用将泵腔及泵胆清洗一遍，再用洗衣粉兑水清洗一遍，LH300气相沉积设备，然后用清水清洗干净，待水份挥发干以后，装好泵胆，加入新扩散泵油，并装回机体，接好水管，H750气相沉积设备，装好电炉盘，便可以重新开机。在重新开机前，要注意检漏工作。

真空镀膜设备选购因素

1、真空系统由机械泵、扩散泵、增扩泵、油增压泵、罗茨泵、埚轮分子泵等及与它们相匹配的各种气动、手动、电动阀门、管道等组成。

2、根据工艺要求选择不同规格及类型的镀膜设备，其类型有电阻蒸发、电子束蒸发、磁控溅射、磁控反应溅射、离子镀、空心阴极离子镀、多弧离子镀等。

3、炉体可选择由不锈钢、碳钢或它们的组合制成的双层水冷结构。

真空镀膜机的镀膜性能

（1） 金属外观

（2） 均色

（3） 耐用表面，在各种基本空气和阳光直射环境条件下保持良好外观。

（4） 颜色深沉明亮

（5） 它是经济的，并且可以减少清洁和抛光电镀黄铜或金所需的时间和成本。

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