干式无油螺杆真空泵

螺杆式真空泵不仅适应性广泛，可以在恶劣条件下抽气，同时可以达到较高真空度（0.1～1Pa）。因此，无油真空泵的工作原理，随着半导体、石化行业的快速发展，螺杆式真空泵作为一种理想干泵也开始广泛应用于电子半导体、化工领域，如半导体行业的气相沉积、蚀刻，化工行业的蒸馏干燥、中间体、溶剂回收、油气回收等。

虽然由于型线技术以及加工上的成本导致螺杆式真空泵购置费用较为昂贵，但从长远来说，其宽适应、环保的特性以及低故障维修率，无油真空泵，能在运行周期内给企业带来更高的综合效益与社会环境效益，无油真空泵的原理图，使用的更加广泛性必是未来的趋势。

无油真空泵

干式螺杆真空泵是干式泵家族中的一员。所谓干式真空泵，在泵的抽气流道中，不能使用任何油类和液体，排气口与大气相通，能直接连续向大气中排气的泵。干式真空泵在抽气流道内无任何液态工作介质或密封介质，从根本上解决了油封式真空泵引发的各种问题。无油真空泵干式螺杆真空泵由于其优越的性能，无油真空泵厂家价格，在欧美和日本目前已经成为微电子、半导体、制药、精密加工等行业真空获得设备。日本是应用螺杆真空泵非常多的，半导体和LCD 行业应用广泛，大晃株式会社的吉村将士等很早就在单头等螺杆转子方面申请了，在转子上做了深入的研究，日立公司早期也做过螺杆泵方面的研究。

螺杆真空泵的优点

目前各种真空泵的发展愈来愈受到真空应用场合的影响，一般的真空系统无法满足清洁无油及耐腐蚀的要求，因此近年来干式真空泵市场需求量很大，真空获得产品已经出现更新换代的局面，大量的有油真空系统已被无油清洁的真空系统所代替。国外几乎每一家较大的真空公司都生产各种不同型式的干式真空泵.螺杆真空泵属于非接触型干式泵，是20世纪90年代初期出现的一种理想的泵种，以其抽速范围宽、结构简单紧凑、抽气腔元件无摩擦、寿命长、能耗低、无油污染等优点得以广泛应用。

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