水环式真空泵

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分子泵在国外半导体领域里的许多工艺场合是用来代替低温泵，尤其是溅射、刻蚀和LCVD等装置都采用复合分子泵和牵引泵作为主泵。??由于分子泵对水蒸气的抽速仅为同口径低温泵抽速的四分之一，所以分子泵的排气时间比低温泵长。

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螺杆真空泵是利用一对螺杆在泵壳内进行同步高速反转，产生吸气和排气的吸气装置。是油封式真空泵的换代产品。在粉尘较少的气体场合，广泛用于制药、化工、半导体等需要高洁净真空的企业。螺杆真空泵是通过主、从动转子啮合转动使吸气段的封闭空间变大来吸入气体的，气体吸入泵腔后，随着泵的继续运转，在主、从动转子的螺旋啮合旋转的作用下，封闭空间从进气端向排气端移动，压力稳定上升，不存在中间排气现象；

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首先维修人员应当做好防范工作，以保障自己的健康。先对真空泵进行故障分析，从现象入手，结合真空泵的结构及其工作原理，无油螺杆真空泵，通过传统的故障判断方法或者用检测设备检测来确定故障的部位和原因，注意：情况不明不能先开泵，以免加重故障。

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