净化车间工程

电子无尘车间净化工程步骤

? ?无尘车间的地面以防滑为选择的优先，其次是坚固且不易产生裂缝。此类的材质在消毒处理上需要较为容易处理，莆田净化车间，且少部分行业需求有一定坡度的地面。

? ?然后则是天花板。浙江无尘车间的天花板要求较为统一，除了洁净度之外，吸水能力和抗腐蚀能力有着一定的需求。

根据洁净室车间空气循环特点可以将洁净室分为三种类型：循环空调机配合送风口系统、循环风机配合湿式密封系统和FFU循环系统。

种形式在小规模低等级要求的洁净室车间设计中被广泛应用，对于大面积高等级的洁净车间则存在运行成本过高、占用空间过大等缺点。

第二种形式的设计可以满足集成电路制造无尘车间大面积高等级的要求，食品净化车间，但运行成本较高，并且洁净室风速、风量调节困难，系统升级改造困难，车间净化工程，因此操作灵活性很低。

第三种的FFU循环系统不仅节省运行空间、洁净度性高、运行成本低，而且操作灵活性很高，可以在不影响生产的情况下随时进行系统升级和调整，这些都能很好地满足半导体制造的需求，因此在半导体制造业FFU循环系统逐渐成为1主要的净化设计方案。