特种气体供应

气瓶放置应整齐，应保持直立放置，妥善固定，且应有防止倾倒的措施。ENPAC的新全塑型气瓶固定板和气瓶固定架非常地解决气瓶存放和气瓶固定问题，特种气体价格，提高性和避免气瓶摆放的杂乱无章，符合美国职业健康管理局标准OSHA 29 CFR.1910的规定，气瓶大大提高。ENPAC的气瓶固定板和气瓶固定架的全塑结构，不会像钢制产品那样笨重、发生生锈和掉屑，特别适合无尘室、洁净室、手术室、电子室等对洁净要求高的场合。

现代工业气体的用途十分广泛，在工业生产、科技和个人生活等均有应用。现在就简要介绍一下工业气体在制造业中的应用。

一、氧气

氧气是一种开发应用早的工业气体，现已广泛应用于国民经济和社会发展的各个领域。其主要用于金属焊接、切割和各种燃烧装置的助燃气体以及某些工艺过程的氧化气体等。

二、氮气

氮气是一种惰性气体，在空气中所占含量大，特种气体公司，约为78%。随着科学技术的发展，氮气在国民经济的各行各业正日益广泛地应用。氮气主要用作保护气体、吹扫气体、载气、干燥气体等。

随着微电子工业的不断发展，特别是超大规模集成电路制造的晶圆尺寸不断增大，线宽尺寸从微米级进人到亚微米(小于1um)级以及深亚微米(小于0.18um)级，这样，对半导体制造工艺中的超净气体的品质要求越来越高，对这些气体中微粒、杂质及控制要求极为严格，已达到ppb、ppt级，尘埃粒径要求控制小于0.1um的微粒，因此对超净气体的输送管路系统的洁净度提出了非常高的要求。特种气体指出，工艺气体中的杂质对半导体制造的整个过程都有影响。如高温处理中，特种气体供应，重金属微粒向硅的内部侵人扩散，诱发结晶缺陷，是导致半导体器件特性裂化的原因。腐蚀工序中，由于微粒附着在硅片处，将导致接触部分和周围的腐蚀加工精度降低。

热处理工序中，碱金属微粒使氧化膜与硅的界面特性产生异常，引起耐压性差或电气特性劣化。特种气体指出，由于一旦该气体输送管道发生污染，将很难通过吹扫污染物，四川特种气体，往往是更换掉被污染的管路，由于该系统造价昂贵，这样造成的损失将很大，因此，超净气体管道系统洁净度的要求甚至比对其纯度的要求在某种程度上显得更为重要。

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