高性价比环形线切割机床

我国晶圆芯片加工进入大规模发展的黄金时代，其上游的晶圆切割加工链中仍然为大量的金刚石带锯所占据。

目前晶圆直径正向更大方向发展，从原的 8、10、12、15 英寸甚至到了 20 英寸，越大越适合环形线切割机床切割，如图 17，某晶圆芯片公司的 Φ350mm 晶圆在环形线切割机床立式机切片，效果十分满意，其工艺参数为:

线速度 38m / s，进给速度 15 ～ 30mm / min，切割面精度 0．02 ～ 0．05μm，切面光滑环形线切割机床，片厚 2 ～ 5mm。

环形金刚石线切割蓝宝石

蓝宝石的组成为氧化铝（Ａｌ２Ｏ３），是由三个氧原子和两个铝原子以共价键形式结合而成，其晶体为六方晶格结构。它常被应用的切面有 Ａ－Ｐｌａｎｅ，Ｃ－Ｐｌａｎｅ及 Ｒ－Ｐｌａｎｅ。由于蓝宝石的光学穿透带很宽，从近紫外光（１９０ｎｍ）到中红外线都具有很好的透光性．因此被大量用在光学元件、红外装置、高强度镭射镜片材 料及光罩材料上，易操作环形线切割机床，具有高声速、耐高温、抗腐蚀、高硬度、高透光性、熔点高（２０４５℃）等特点，它是一种相当难加工的材料，因此常被用来作为光电元件的材料。

环形金刚石线在蓝宝石切割上有极强的速度优势，高线速度使得金刚石线更加锋利，可以大大提高切割效率

相比较而言，环线机优势明显，天津环形线切割机床，不但切割，而且结构简单，造价低，装拆金刚石线简便。

大量进口游离式开方机改造为金刚石线开方机) 。而且，还出现几款卧式单根单晶硅开方机，如重庆神 工开方机和青島测控中心的开方机，其特点是工件不 用粘结，机械手上下工件，切割后不必剪断网线，相对 于多工位立式开方机，生产。但是，高性价比环形线切割机床，比较而言，在环形线切割机床性能好的条件下( 线径 0．4 ～ 0．6mm) ，环形线切割机床开方机更具优势

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