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天津理想动力科技有限公司是集研究、开发、生产和销售为一体，专门从事生产自动化和机器人应用技术领域的新型科技类公司。

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日本奈良科技大学信息科学学院提出了一种基于双目立体视觉的增强现实系统（ar）注册方法，通过动态修正特征点的位置提高注册精度。日本东京大学将实时双目立体视觉和机器人整体姿态信息集成，开发了机器人动态行长导航系统，为机器人根据实时情况建立实时地图从而实现障碍物检测。日本冈山大学使用立体显微镜、两个ccd摄像头、微操作器等研制了使用立体显微镜控制微操作器的视觉反馈系统，山东机器人去毛刺，用于对细胞进行操作，对钟子进行基因注射和微装配等。

麻省理工学院计算机系统提出了一种新的用于智能交通工具的传感器融合方式，由雷达系统提供目标深度的大致范围，利用双目立体视觉提供粗略的目标深度信息，3d视觉机器人去毛刺，结合改进的图像分割算法，从而实现在高速环境下对视频图像中的目标位置进行分割。华盛顿大学与微软公司合作为火星“者”号研制了宽基线立体视觉系统，使“者”号能够在火星上对其即将跨越的几千米内的地形进行的定位及导航。

在如今高科技智能化时代的背景下，各行各业都在向着智能化、自动化方向发展。很多传统的手工劳动都被自动化所替代。在产品质量检测领域也同样不例外，许多传统的人工检测都逐步被自动化设备所代替。外观检测自动化设备是基于机器视觉系统的检测设备。它可以代替传统的人工检查，实现产品外观在线高速自动检测。通过外观检测自动化设备可以实现产品表面缺陷的自动识别，并且检测速度可以达到与生产线的同步。

一、外观检测自动化设备的检测原理产品表面的各种缺陷在光学特性方面必然与产品本身有所不同。当光进入产品表面时，反射和折射方面的缺陷会与周围环境有所不同。例如，当均匀的光垂直入射到产品表面时，如果产品表面没有缺陷，工业机器人去毛刺，则出射方向不会改变，并且机器视觉检测到的光是均匀的；当产品表面存在缺陷时，发出的光会发生变化，检测到的图像也会相应变化。由于存在缺陷，应力集中和变形会在缺陷周围发生，因此很容易在图像中观察到。如果遇到透光缺陷（例如裂缝，气泡等），则光将在缺陷所在的位置折射，并且光的强度大于周围的强度。 次数用完API KEY 超过次数限制

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电子束检测的优势，是比较不受某些表面物理性质的影响，且可以检测很小的表面缺陷，如栅极刻蚀残留物等。因此，现在针对先进制程芯片的生产流程，会同时使用光学检测与电子束检两种技术，来互相辅助，进而快速找到晶圆生产的缺陷并控制和改善。尤其，也追求能即时检测出缺陷，且尽可能在线上检测并进行控制。光学检测和电子束检测的配合流程，机器人去毛刺主轴，是当光学检测系统在线上检测到缺陷后，会用电子束再去检视，重访已检测到的缺陷，并采用高分辨率图像收集、提取，以及先进的机器学习算法对缺陷进行分析和分类。

这也是光学检测系统和电子束检测系统互相配合的优势，可以即使的找出缺陷问题，并进一步提升晶圆厂在先进制程上的良率和学习曲线。身为全球晶圆检测技术龙头的科磊KLA指出，无论是三维器件结构3DNAND和DRAM，或是用于逻辑器件的FinFET和GAA（Gate-All-Around）结构，晶圆厂都十分重视传统的缺陷控制策略。KLA日前提出革命性的eSL10电子束图案化晶圆缺陷检查系统，且该系统也导入深度学习算法，将人工智能系统运用于其中。KLA指出，eSL10的研发是始于基本的构架，针对研发生产存在多年的问题来寻求突破口，可提供高分辨率、高速检测功能，是目前市场上任何其他电子束系统都难以比拟的。KLA近一步指出，该技术可以辅助极紫外线（EUV）光刻技术的芯片，因为它能检测出常规光学或其他电子束检测平台无法捕获的缺陷。

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