铝镜气浮轴承

厂商 :光波超精密(广州)技术研究院(普通合伙)

广东 广州
  • 主营产品:
  • 气浮轴承
  • 气浮导轨
  • 气浮减震
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商品详细描述

光波超精密——气浮轴承

气浮轴承(平面空气静压i轴承、止推空气轴承)广泛应用于高精度设备中,比如集成电路生产设备、平面显示器生产设备、半导体生产设备、电子生产设备、太阳能电池生产设备、新型元器件生产设备、检验和测量设备以及高精度机床等。气浮轴承是静压气浮运动平台的重要组成部件,在工作过程中起承载和导向之作用,它决定了气浮装备的精度和性能,因此在设计时气浮轴承的选择是十分关键的。

光波超精密——气浮轴承

选择气浮轴承时,主要应考虑下述因素:

1)承载能力

足够的承载能力可确保气浮轴承将系统“浮”起来,这是zui基本的要求。选择时应注意比较不同厂商气浮轴承在同样条件下(规格、气隙、供气压力)的承载能力。

2)刚度(static stiffness 和 tilt stiffness)

足够的刚度是保证气浮系统在设计条件下稳定工作的必要条件。选择时一般考虑静刚度(static stiffness ),但有些情况下也必须考虑倾侧刚度(tilt stiffness),否则系统可能也无法达到设计性能指标要求。选择时应注意比较不同厂商气浮轴承在同样条件下(规格、气隙、供气压力)的刚度。




光波超精密气浮轴承厂家——气浮轴承

气浮轴承特点:

①气浮轴承摩阻极低:由于气体粘度比液体低得多,在室温下空气粘度仅为10号机械油的五千分之一,资阳气浮轴承,而轴承的摩阻与粘度成正比,精密气浮轴承,所以气体轴承的摩阻比液体润滑轴承低。

②气浮轴承适用速度范围大:气体轴承的摩阻低,温升低,在转速高达5万转/分时,其温升不超过20~30℃,转速甚至有高达130万转/分的。气体静压i轴承还能用于极低的速度,甚至零速。


光波超精密气浮轴承厂家——气浮轴承

这类平面空气轴承通常也称为气浮垫、气垫或者气浮块。

与机构的连接方式:刚性连接(用螺栓直接固定,数种规格的矩形平面空气轴承)、柔性连接(通过球头螺

杆或高刚度铰支连接)。

预载方式:重力预载、真空预载、磁性力预载、使用带活塞空气轴承预载、借助其它空气轴承预载等。

工作气隙:一般5-10μm,取决于具体应用场合。





光波超精密——气浮轴承

弧形(径向)气浮轴承支持广泛的高i性能应用。分组使用它们的能力使它们的解决方案空间几乎是无限的。它们的非接触特性使其非常适合高精度应用,同时消除了维护所需的停机时间,同时改善了整个制造过程。向我们详细介绍您的旋转应用,以便我们为您找到合适的空气轴承解决方案。

卷筒场景

? 卷对卷生产过程中对柔性基材的非接触式处理可减少缺陷。

? 消除摩擦和磨损可减少频繁润滑和更换磨损部件所需的停机时间。

光波超精密——气浮轴承

空气轴承具备了以下的优点:

空气轴承能提供极高的径向和轴向旋转精度。由于没有机械接触,磨损程度降到了zui低,稀土元件气浮轴承,从而确保精度始终保持稳定。

由于制造结构的不同,空气主轴旋转时的精i确性是天生具备的。特殊的制造技术提高了这一精i确性,能够提供极高的旋转和轴向精度。空气主轴的设计是,气浮轴承价格,能够在轴向和径向同时获得小于0.1微米TIR的旋转精i确性。由于旋转的转子和静态支撑部分之间没有机械接触,所以没有磨损产生,从而确保精度始终保持稳定——制造商使用统计学加工控制的一个重要特性。




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