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兴之扬蚀刻电视304不锈钢网小编来给大家讲解干法蚀刻电浆形成之原理：

电浆的产生可藉由直流(DC)偏压或交流射频(RF)偏压下的电场形成，如图5-3所示，而在电浆中的电子来源通常有二：一为分子或原子解离后所产生的电子，另一则为离子撞击电极所产生的二次电子(SecondaryElectron)，在直流(DC)电场下产生的电浆其电子源主要以二次电子为主，而交流射频(RF)电场下产生的电浆其电子源则以分子或原子解离后所产生的电子为主。

在电浆干法蚀刻中以直流方式产生辉光放电的缺点包含了：1)需要较高的功率消耗，也就是说产生的离子密度低；2)须要以离子撞击电极以产生二次电子，如此将会造成电极材料的损耗；3)所需之电极材料必须为导体。如此一来将不适用于晶圆制程中。

在射频放电(RFDischarge)状况下，由于高频操作，使得大部份的电子在半个周期内没有足够的时间移动至正电极，因此这些电子将会在电极间作振荡，并与气体分子产生碰撞。而射频放电所需的振荡频率下限将视电极间的间距、压力、射频电场振幅的大小及气体分子的解离位能等因素而定，而通常振荡频率下限为50kHz。一般的射频系统所采用的操作频率大都为13.56MHz。

兴之扬咖啡机不锈钢网片小编来向大家说说干式蚀刻时主要须注意的方面有哪些？

干式蚀刻时主要须注意蚀刻速率、均匀度、选择比及蚀刻轮廓等。蚀刻速率越快，则产能越快，有助于降低成本提升竞争力。蚀刻速率通常可由气体种类、流量、电浆源及功率等所控制，一般而言，在其它因素尚可接受的范围内，蚀刻速率越快越好。均匀度是晶圆上不同位置蚀刻差异的一个指标，均匀度越好意谓着有较佳的良率，当晶圆尺寸越来越大，均匀度的控制就显得更加重要。控制选择比通常与气体种类与比例、电浆源及功率、乃至于反应温度均有关系。蚀刻轮廓一般而言以接近90度为佳，除了少数特例，如接触窗(ContactWindow)或引洞(ViaHole)，为了使后续金属溅镀能有较佳的覆盖能力(StepCoverage)，因而故意将其轮廓蚀刻成小于90度的型态。而通常蚀刻轮廓的控制可藉由调变气体种类与比例、电浆源及功率等来进行。

兴之扬腐蚀不锈钢网片小编为您解答钢蚀刻工艺中的滚涂原理：

使胶辊与钢轮平行靠紧，并匀速向内旋转，油膜从胶管喷至钢轮上，均匀调节胶辊与钢辊之间的紧密度，就可以控制黏附在胶辊上的油墨厚度与均匀度；钢片由输送带往前均速推进，与胶辊适当接触，胶辊上的油墨就均匀的转印到钢片表面上。在金属蚀刻的防蚀层制作中涂装技术应用较多，常用的涂装方法有丝印法、浸涂法、喷涂法、电泳涂装等。涂覆的防蚀层表面应均匀完整、无砂眼、白点等，如发现防蚀层有上述质量缺陷，且这些缺陷又在图文线条附近，特别是精细图文线条，应退除防蚀层重新涂覆。工件上喷涂的感光油膜干燥后，在进行曝光之前要进行质量检查。检查项目包括油膜表面无划伤、气孔，油膜的滚涂均匀性等，如达不到这个要求应将整个板面的油墨退掉重新滚涂。