PN007229

该仪器按照单晶硅物理测试方法国家标准并参考美国 A.S.T.M 标准而设计的，专用于测试半导体材料电阻率及方块电阻(薄层电阻)的专用仪器
测量数据既可由主机直接显示，亦可由计算机控 制测试采集测试数据到计算机中加以分析，然后以表格，图形方式统计分析显示测试结果

测试程序控制四探针测试仪进行测量并采集测试数据，把采集到的数据在计算机中加以分析，然后把测试数据以表格，图形直观地记录、显示出来。用户可对采集到的数据在电脑中保存或者打印以备日后参考和查看，还可以把采集到的数据输出到Excel中，让用户对数据进行各种数据分析

技　术　指　标 ：

测量范围  电阻率：0.001～200Ω.cm(可扩展)；    方块电阻：0.01～2000Ω/□(可扩展)；  电导率：0.005～1000 s/cm；  电阻：0.001～200Ω.cm；   可测晶片直径  140mmX150mm(配S-2A型测试台)；  200mmX200mm(配S-2B型测试台)；  400mmX500mm(配S-2C型测试台)； 恒流源  电流量程分为0.1mA、1mA、10mA、100mA四档，各档电流连续可调 数字电压表  量程及表示形式：000.00～199.99mV；　　　　  分辨力：10μV；  输入阻抗：>1000MΩ；  精度：±0.1% ；  显示：四位半红色发光管数字显示；极性、超量程自动显示； 四探针探头基本指标  间距：1±0.01mm；  针间绝缘电阻：≥1000MΩ；  机械游移率：≤0.3%；  探针：碳化钨或高速钢Ф0.5mm；  探针压力：5～16 牛顿(总力)； 四探针探头应用参数  (见探头附带的合格证) 模拟电阻测量相对误差 ( 按JJG508-87进行)  0.1Ω、1Ω、10Ω、100Ω小于等于0.3%±1字 整机测量最大相对误差 (用硅标样片：0.01-180Ω.cm测试)≤±5% 整机测量标准不确定度  ≤5% 计算机通讯接口  并口 标准使用环境  温度：23±2℃；  相对湿度：≤65%；  无高频干扰；  无强光直射；