蓝宝石晶体定向仪

厂商 :丹东辽东射线仪器有限公司

辽宁 丹东
  • 主营产品:
  • 蓝宝石晶体定向仪
  • 硅单晶棒粘接台
  • 单晶滚磨定向装置
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商品详细描述
X射线蓝宝石晶体定向仪通用型配置如下:(适用晶片、晶棒)

 X射线蓝宝石晶体定向仪是在标准定向仪基础上,针对单晶硅、蓝宝石、砷化稼等多种晶体设计,主要用于晶圆片、晶棒的测量,对管套、测角仪进行改进,显示器为外置式,样品台加装承重轨道,可测2---6英寸晶圆片,400毫米,30公斤的晶棒;主要测量晶面角度:110 111 100 511等及其它相关晶体的晶向角度
1、一侧GA测角仪能测晶体Φ2---Φ6英寸晶圆片;111, 100, 211等角度;能测晶棒参考110OF等角度。蓝宝石A,C,R面等角度。
2、另一侧GC测角仪能测Φ2---Φ6英寸晶圆片111, 100,211 等角度;能测晶棒Φ2---Φ6英寸,400㎜长晶棒端面 111, 100等角度。蓝宝石A,C,R面等角度。



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