产品说明：
多晶硅定向凝固炉（简称结晶炉）
一、用于
l 太阳能级硅锭制造，也可以用于其他半导体材料提纯。
二、特点
l 控制精度高，结晶速度自由调节
l 采用石墨电阻或感应加热熔炼法，增加溶液搅拌，熔炼速度快
l 定向凝固保温采用特制加热电源
l 具有三相电流平衡，维护费用低
l 采用恒温度控制仪，可设置148段加热工艺曲线
l 炉室采用高真空炉体，真空度高，抽气速度快
三、主要技术参数 Main technique parameters
l 熔炼容量： 10-450KG
l 电源功率：40-450KW
l 设计温度：≥1700℃
l 工作温度：1550℃
l 升温速率：40℃/Min
l 炉温均匀性：±5℃
l 极限真空度： 6.67×10-2Pa
l 压升率： 0.01PaL/S
l 额定充气压力：0.05Mpa
l 铸锭方式：坩埚下降/保温桶提升定向凝固
l 伺服控制范围：0.01mm-6mm/Min
l 定向凝固速率 ：0.01mm-0.5mm/Min
l 坩埚快速返回速度：80-100 mm/Min
