超低温冷凝机组，超低温冷冻机组

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水汽捕集泵应用
在使用油扩散泵的高真空环境中都存在着一定的残余气体，80%以上是水蒸汽、油蒸汽及其它高沸点的蒸汽，但其抽除残余气体的能力低，时间长，而且所残余气体还是工件的污染源，从而使产品的产量和质量受到影响,超低温捕集泵则是解决问题的上佳选择。
水汽捕集泵的工作原理：将一个能到-130℃以下的制冷盘管，放置在真空室中或油扩散泵的泵口，通过其表面的低温冷凝效应，迅速捕集真空系统的残余气体。从而大大缩短抽真空的时间(可缩短60%—90%的抽气时间)、获得洁净的真空环境(真空度可提高半个数量级，达到10-8Torr、10-5Pa)。