厂商 :英展有限公司
广东 深圳市- 主营产品:
- 德国HESSE键合机
- 以色列ADT切割机
- 荷兰推拉力测试机
英展有限公司代理德国微波等离子清洗机设备, Alpha Plasma 研发和生产世界高质量的等离子系统,适用于半导体和复合材料工业的表面活化,清化和镀膜工艺。
清洗EMC产品微波等离子vs 射频 三大优势
微波(Alpha Microwave)
射频(RF)
可清洗尺寸75*244mm的EMC产品,清洗很干净
无法清洗,清洗不干净
针对EMC小杯子材料,能够完全清洗到底部,无损伤
清洗EMC产品无优势,杯子小,射频清洗不到底部
腔体无污染,无需清洗腔体
由于再沉积导致基板或者腔体交叉污染,需要频繁清洗
微波等离子清洗机 AL76 的特点:
微波等离子清洗机 AL76 紧凑型
提升引线键合品质 提升塑封成形品质
提升装片品质
提升倒装芯片底部填充品质
可满足360全芯片封装
技术规范:
工作腔体: 铝
容积 :76 公升
腔体尺寸 :宽 400 mm X 长 490 mm X 高 400 mm
腔体的门 :抽屉型,具有观察口
微波功率 :2,45 GHz,可调范围 50 至 1200 Watts
气体供应 :3 个标准型的数字气体流量控制器
真空规格 :Baratron, 1 - 1000 Pa
真空系统 :DN 63 ISO-K
真空阀门 :电-气 节流阀
系统控制: PC, Windows, RS 232, USB, 以太网 (也适用于远程控制) 10,4” 显示器,触摸屏, 图形化的用户界面软件 Windows Office 可兼容:
现状和错误信息,可存储工艺数据和错误信息
工艺数据的输出
工艺参数可进行图形监控
自动和手动的操作模式
可选项真空泵 复合型真空泵,吸取能力 250 m3/h气体管道 额外的数字气体控制 (增加到4个) 可旋转的工作台 铝,350 mm, 速度可调节 ECR 设施 铝,
带有永久磁性的机架装置 设施 3/N/PE AC 50 Hz 400/240 V 16 A
尺寸 宽 1050 mm X 长 800 mm X 高 2020 mm (含指示灯)
重量 95 kg 不含泵 ; 260 kg 含泵