厂商 ：河南成仪实验室设备有限公司
河南 郑州- 主营产品：
- 管式炉
- 箱式炉
- 烧结炉
RTP快速退火炉主要技术参数
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1 |
项 目 |
主要技术指标 |
数据 |
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2 |
规格型号 |
RTP110 |
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3 |
温度控制 |
最高温度点 |
1200℃ |
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4 |
额定温度 |
1100℃ |
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5 |
稳定状态温度范围 |
100～1000℃ |
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6 |
温度测量精度 |
±0.2℃ |
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7 |
温度控制重复性 |
±1℃ |
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8 |
温度控制精确度 |
±1℃ |
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9 |
温场均匀性 |
±2℃ |
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10 |
温度状态工艺时间（S） |
2～100（100～1000℃） |
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11 |
最快升温速率 |
500℃/S |
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12 |
降温速率（℃/S） |
1～200（通氮气，速率更快） |
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13 |
温度控制模式 |
智能模糊全闭环控制 |
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14 |
软件功能 |
操控系统 |
NBD-101智能系统 |
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15 |
用户界面 |
中英文互换 |
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16 |
工艺菜单编辑 |
触屏式图像操作界面 |
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17 |
扩充端口 |
可扩充真空测控和FFC供气 |
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18 |
看门狗 |
系统进入死循环时关闭主控制器 |
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19 |
热电偶校准状态检测 |
软件校准，方便准确，软件分析传感器状态是否正常 |
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20 |
超高温状态检测 |
软件检测出温度信息出现高温异常时，切断主回路 |
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21 |
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触摸屏尺寸 |
7"LCD |
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22 |
物理指标 |
最大功率 |
15kw |
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23 |
额定电压 |
AC380～400V，50Hz（60Hz定制） |
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24 |
传感器类型 |
S型单铂铑 |
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25 |
反应腔室内径尺寸 |
Φ100X200mm |
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26 |
式样有效空间 |
3.5" |
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27 |
真空度 |
4.3×10-3Pa(外配分子泵） |
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28 |
抽气端口尺寸 |
KF16（或Φ8mm宝塔嘴） |
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29 |
供气口尺寸 |
Φ6.35mm双卡套 |
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30 |
冷却方式 |
自然冷却或强迫风冷N2或压缩空气：2psi (0.14kg/cm2) – 7psi(0.5kg/cm2) |
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31 |
外形净尺寸（mm） |
长920×深500×高560 |
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32 |
重量 |
净重65kg |
