气浮导轨运动平台

气浮导轨运动平台

气浮导轨基于气体动静压效应，实现无摩擦和无振动的平滑移动。它具有运动精度高、清洁无污染等特点。因其误差均化作用，可用比较低的制造精度来获得较高的导向精度。通常与伺服驱动，传感器组成闭环系统，实现高精度位移定位。气浮导轨在测量仪器、精密机械中得到了广泛的应用

超精密工作台常用导轨有滚动导轨、静压导轨等，滚动导轨的应用己经有好多年，滚动导轨的运动精度达到微米级，摩擦因数可以降低到0.002至0.003。滚动导轨的优点是滚动摩擦阻力小，没有滑动导轨的爬行、浮动现象，但滚动导轨的摩擦大、抗震性差、运动不平稳、寿命低，在应用方面有所欠缺。气浮导轨相对于普通滚动导轨有着如下的优点^[2] ：

(1)导轨面间是气体润滑，其摩擦系数极小(约为0.0005左右)，故驱动功率可大大降低；

(2)因系非接触性摩擦，故导轨磨损极小，寿命长，能长期保持制造精度，减少了维修工作量；

(3)气膜具有误差均化作用，可提高导轨运动精度；

(4)气膜厚度几乎不受速度的影响，即使在极低速时也不会产生爬行，运动平稳；

(5)几乎不产生热量，不会发生粘度变化，无需添加冷却措施。