蒸发镀膜设备

用于行业

五金行业、装饰装潢行业、家用家电行业等

用于产品

瓷砖、LOGO标牌、不锈钢展架、不锈钢散件及板材等

镀膜效果

钛金、玫瑰金、香槟金、日本金、炫银、七彩、宝石兰、玫瑰红、黑色等

FOXIN-ZJ 超大直径多弧离子镀膜机型号（直径2.4m以上）

性能型号

ZJ-2624

ZJ-2830

ZJ-3118

ZJ-3131

ZJ-3531

ZJ-3731

镀膜室尺寸：mm

Ф2600×H2400

Ф2800×H3000

Ф3100×H1800

Ф3100×H3100

Ф3500×H3100

Ф3700×H3100

真空室结构

立式开门、吊装或卧室推车结构配置抽气系统及水冷系统

真空获得系统

维持泵+机械泵+罗茨泵+扩散泵或分子泵（具体型号可根据客户的要求进行配置）

真空测量系统

 一台皮拉尼(MKS)  一台冷阴极(MKS)  一台薄膜规(MKS)

电源类型

直流电源、中频电源、脉冲电源 （偏压电源、弧电源）

极限真空指标

空载冷态  1.0一 6.0×10-4Pa

电弧源

22台-28台

22台-28台

26台-32台

26台-32台

32台-48台

32台-48台

200A-300A

200A-300A

200A-300A

200A-300A

200A-300A

200A-300A

偏压电源

60KW/1台

60KW/1台

70KW/1台

70KW/1台

80KW/1台

100KW/1台

磁控电源

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工件转动方式

多轴行星式公自转、变频调速（可控可调）

工件烘烤温度

常温-至450℃可控可调（PID温控）

工艺气体

3路或4路工艺气体流量控制及显示系统选配自动加气系统

氩气、氮气、氧气、乙炔等

冷却方式

水冷却循环方式，另配工业冷却水塔或工业冷水机（制冷机)或深冷系统。（客户提供）

控制方式

PLC+触摸屏操作或计算机控制，手动、半自动、自动方式、

供给指标

气压0.5-0.8MPa、水温≤25℃、水压≥0.2MPa、

报警及保护

对泵和靶等缺水、过流过压、断路等异常情况进行报警，并执行相应保护措施及电气联锁功能。

整机总功率

165~185KW

185~200KW

200~225KW

225~245KW

245~265KW

265~300KW

输出频率

电压380V±5%  ，频率50Hz（可根据客户国家用电标准配置）

设备占地面积

25~55m?

35~55m?

35~55m?

45~55m?

45~55m?

55~75m?

备注

可根据用户要求设计制造非标设备，可加装磁控溅射靶、中频孪生对靶等。