探针台-探针台专业制造商

台面规格:

●  探针台台面平整度：5μm
●  探针台左侧有摇杠可以控制台面快速上下升降4mm。

详细参数:

●  6寸 卡盘，采用中心吸附孔和3圈吸附环固定样品，分别由3个开关独立控制

● 卡盘X-Y的移动范围 6X6，移动精度：10微米 

● 卡盘可以 360 度旋转，细调精度不大于 0.1 度，带有锁定旋钮

● Chuck 漏电低于 100fA ， 平坦度误差小于 5um 。

● Chuck 镀金，用于做背电极,可以进行双面测试

● 卡盘台可以上下快速升降4mm，便于样品快速分离探针

高压大电流探针座：

● GVDI-40

● SHV高压夹具

● 漏电精度低于1pA

● 大电流10A,高压2kv（不能同时达到）

● 2.1m线缆（铜管TubulerType）接头和客户设备配

● 50Ω阻抗，测试频率直流-100Mhz

●  SHV高压大电流探针

●  电流范围0-10A

●  电压范围0-2kV

●  2kV时，电流需控制在10mA以内

●  电流10A时，电压不能超过5v

●  漏电精度10PA

可选附件：
● 显微镜倾仰装置
● 射频测试探头/电缆
● 有源探头
● 低电流/电容测试
● 高压测试
● 激光修复
● CCD/数字相机，USB接口
● 探针卡/封装/PCB板夹具
● 加热装置
● 防震桌
● 黑箱子
● 显微镜暗场/Normarski 检测

关于探针台产品的分类：

一般根据用户测试样品、测试环境、应用类别、产品级别以及操作方式分类，如下：

1) 按测试样品分类，可分为：晶圆测试探针台、LED测试探针台、功率器件测试探针台、MEMS测试探针台、PCB测试探针台、液晶面板测试探针台、太阳能电池片测试探针台、材料表面电阻率测试探针台、纳米器件测试探针台；

 

2) 按应用及测试环境分类，可分为：高频、射频及微波测试探针台、高/低温环境测试探针台、高/低温真空环境测试探针台、低电流（fA级）测试探针台、IC/IV /p-iv测试探针台、高压、大电流测试探针台、特殊气体环境测试探针台、磁场环境测试探针台、双面点针测试探针台、全封闭式探针台(非真空环境)；

 

3）按级别分类可分为：经济型探针台、标准型探针台、分析型探针台、高端型探针台

 

4）按操作方式可分为：手动型、半自动型、全自动型

 

5) 按特殊应用测试分为：非标准类结构测试探针台

 

二、 探针台产品的应用领域：

包括半导体/微电子，电子，机电，物理，化学，材料，光电，纳米，微机电/MEMs，生物芯片，航空航天等科学研究领域，以及IC设计/制造/测试/封装、LED、LCD/OLED、LD/PD、PCB、FPC等生产制造领域。

 

三、  探针台产品结构说明：

我公司专注于手动及半自动探针台设计与研发，将精密机械加工设计、电学测试、显微成像技术、高低温环境及温度控制、真空环境、全封闭式环境、噪声抑制、低电流、高压以及微弱信号测试、高频、射频、微波测试等应用结合为一体。

 

各标准类大气环境下的探针台组件构成如下：

1）?   探针台本体 - 用于支撑显微镜以及放置探针座的台体，可放置不同精度及不同应用的探针移动装置，即探针座，主体结构的设计采用了高精度机械加工组件，在设计上考虑振动对电学测量的影响，采用了底部二层板的设计，结构合理，稳定性强，可搭配各类探针台应用组件；

 

2）?    样品真空吸附固定载物台Chuck卡盘 - 一般为圆形（方型可选），根据样品尺寸可选择载物台尺寸，如4"、6"、8"、12"，在台面可放置被测晶圆、各类电子元器件、材料等样品，利用真空吸附固定各类样品，搭配静音低振动真空泵工作；不同尺寸卡盘上具有多层吸附孔，对于各类尺寸样品均可固定，卡盘可进行X/Y方向移动，Z轴方向上下升降，设计了快速升降结构，可实现对样品精确定位以配合点针操作；其中Chuck卡盘可根据温度要求，选择加热或低温制冷卡盘，一般标准类大气环境下选择使用加热卡盘居多，温度范围：室温至200度/300度/或其它，带有温控装置，温控精度0.1度；需要说明的是低温卡盘的选择一般为真空探针台配置，因低温时在大气环境下卡盘会有结箱现象，这样会影响样品的测试；

 

3）?    显微成像装置 – 一般根据用户需要点针操作的样品分辨率来选择，配套组件包括：显微镜主体、物镜、视频成像装置以及粗微调装置；如样品分辨率要求在40微米以下，建议使用体式类显微镜，价格相对较低，如果要求更高分辨率，由可选择长焦金相显微镜，分辨率达微米级；对于视频成像的选择，可选C-MOS或CCD成像装置；

 

4）?    探针座– 配置选择根据移动精度可选<0.7微米的MH100型探针座或<5微米的MH300型探针座，两者均可配置仰角调节装置，可调角度45度；根据高频测试的应用可选择MH500型高频探针座；

 

5）?   探针杆 – 用于固定探针并连接到测量仪器，根据漏电流的要求进行选择，一般分为弹簧式及管式，其中一端固定探针，另一端与半导体测量分析设备相连接，常见的Triax/BNC/SMA等连接接口。根据微弱信号测试，如nA/pA/fA级弱电流检测和射频微波信号测量，需要使用不同类型的探针杆；

 

6）?    探针 - 主要分为DC(直流)探针与高频探针。DC（直流）探针主要根据样品Pad的尺寸等来选择，针尖直径(0.2um-200um)、探针形状(直针、弯针)与材料(金属钨或铍铜合金等)可选。最常用的直流测试使用钨材质直针，直接可选(1微米至20微米或其它)。

 

7）?    其他附件 – 以上为标准探针台的基本组件，其它组件可选：1. 屏蔽箱--隔离电磁波与光干扰，提高测量精度；2. 防震台--减少外围环境带来的振动影响；3. 探针卡--可提高检测效率；4. 各类转接头--可连接不同测试分析设备；5. 射频/微波探针--可测试除DC直流外的信号；6. 其它外围组件...

       

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