净化工程施工工艺

  东莞市百特净化科技有限公司，主营产品：防腐地板、防尘地板、PU地板、PVC地板、高架地板、净化工程、PVC防静电地板、球场跑道、3M蜡水、砂浆环氧地板、风淋室、PVC卷材板、空调工程、环氧防静电地板、净化设备、工程环氧地板、环氧防腐地板、防水防静电地板、防腐金钢砂地坪、广东净化无尘室工程。

净化工程：控制产品 (如硅芯片等) 所接触大气的洁净度及温湿度，使产品能在一个良好的环境空间中生产、制造。此环境空间的设计施工过程即可称为净化工程。

控制

洁净室中的温湿度控制

洁净空间的温湿度主要是根据工艺要求来确定，但在满足工艺要求的条件下，应考虑到人的舒适度感。随着空气洁净度要求的提高，出现了工艺对温湿度的要求也越来越严的趋势。具体工艺对温度的要求以后还要列举，但作为总的原则看，由于加工精度越来越精细，所以对温度波动范围的要求越来越小。例如在大规模集成电路生产的光刻曝光工艺中，作为掩膜板材料的玻璃与硅片的热膨胀系数的差要求越来越小。直径100 um的硅片，温度上升1度，就引起了0.24um线性膨胀，所以必须有±0.1度的恒温，同时要求湿度值一般较低，因为人出汗以后，对产品将有污染，特别是怕钠的半导体车间，这种车间温度不宜超过25度，湿度过高产生的问题更多。