低温真空探针台

低温真空探针台，CINDBEST CGO系列极高/低温真空环境探针台，开/闭循环制冷，标配控温范围为：4.2K-480K，另可以根据客户需求订制。

极低温测试:

因为晶圆在低温大气环境测试时，空气中的水汽会凝结在晶圆上，会导致漏电过大或者探针无法接触电极而使测试失败。避免这些需要把真空腔内的水汽在测试前用泵抽走，并且保持整个测试过程泵的运转。

CGO-C-4(闭循环)/CGO-O-4(开循环)特点：

载物Chuck 温度范围：4.2K-480K        

外置4个定位针臂

探针X-Y-Z三方向移动，行程：25mm，定位精度：10微米

最多可以外置6个定位针臂

载物chuck 最大可到2寸

双屏蔽chuck高低温时达到100FA 的测试精度

针臂定位精度可以升级为0.7微米

极限真空到10-10 torr

可以选择射频配件做最高67 GHz的射频测试

可以选择防震桌

可以选择超高真空腔体

客户订制